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光氧等离子废气处理设备，综合采用了等离子废气净化器和紫外光触媒除臭废气净化器两种设备的优点组合而成，利用等离子分解技术和UV紫外光解技术结合，对废气和臭气进行协同净化处理：废气和臭气体进入集成设备后，经过UV紫外光束区时，被紫外光波率地照射，瞬间产生光解反应；经过等离子体电场时，在纳秒级时间范围内，产生裂变分解反应；如此协同地产生一系光解和分解反应，经过多级净化后从而排放。
等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，采用等离子体电源，利用双介质齿板放电北装置，以放电形式产生等离子体，在毫秒级的时间内，把空气和废气分子击穿，发生一系列分化裂解反应，产生浓度、强度、量的各种活性自由基、电子、离子、臭氧、原子氧、生态氧等，在纳秒级的时间内，瞬间对废气和臭氧分子进行氧化还原反应；活性自由基可以地破坏各种中的核酸，蛋白质，使其不能进行正常的代谢和生物合成，从而致其死亡；而生态氧能将废气分子异味气体分解可还原为低分子物质；另外，借助等离子体中的离子与物体的聚合吸附作用，可以对小至亚微米级的细微废气颗粒物进行的吸附沉降处理。
放电过程中虽然电子温度很，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。
1、利用臭氧UV紫外线光束照射臭气体，改变臭气体的分子链结构，使或无机分子臭化合物分子链，在紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。
2、利用臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。
UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3（臭氧），众所周知臭氧对物具有强的氧化作用，对臭气体及其它刺激性异味有的效果。
3、臭气体利用排风设备输入本净化设备后，净化设备运用紫外线光束及氧对臭气体进行协同分解氧化反应，使臭气体物质其降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。
4、利用UV光束裂解臭气体中的分子键，破坏的核酸（DNA），再通过氧进行氧化反应，达到目的。
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