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在原电晕放电的基础上由高频高压电场通过尖端放电产生的低温等离子体，在放电过程中，电子从电场中获得能量，通过非弹性碰撞将能量转化为污染分子的内能或动能，这些获得能量的分子被激发或发生电离形成活性基团，同时空气中的的氧气和水分在高能电子的作用下也可产生大量的新生态氢、活性氧和羟基氧等活性基团，这些活性基团相互碰撞后便引发一系列复杂的物理、化学反应。终转化成CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。
低温等离子体废气处理设备产生的高能电子能量高，自由基密度大，因此绝大部分异味分子均能被分解，处理对象广泛，可用于石油化工、制药行业、饲料和肥料加工厂、畜牧产品农场。化纤厂、皮革厂、制浆厂、污水泵站、各类污水处理厂、涂料、食品添加剂厂、皮革加工、感光材料、汽车制造及公厕、粪便运转站等诸多行业存在的有机废气、异味、恶臭等污染问题。
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