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高能离子法处理有机废气的基本原理就是指在常温常压下，高压脉冲放电将空气中氧分子电离成活性氧（臭氧、原子氧、羟基自由基等）利用活性氧中离子氧的极强氧化能力，这些活性粒子和部分有机分子碰撞结合，在电场作用下，使有机废气分子处于激发态。当有机废气分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，废气分子的化学键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子，这些小分子物质均能被周边的大气所接受。
首先通过风机将工业废气引入废气处理装置中，同时通过风机将新鲜空气引入高能离子装置，由此产生含有大量电子、原子和自由基的离子风混合体，并迅速将离子风送入废气处理装置中，与引入的工业废气充分混合，并螺旋下降，产生旋风除尘的效果，一些较大颗粒的粉尘会因离心力和重力作用被沉降下来，粘附性的物质也会在与废气处理装置内壁碰撞过程中被去除。在此过程中，离子风中大量的处于激发态的电子、原子和氧化性极强的活性自由基会与挥发性有机物废气分子充分碰撞混合，一方面在电场的作用下是废气分子处于激发态并迅速电离、裂解，一方面在活性自由基的氧化作用下，转变为CO2、H2O或一些对环境无害的小分子物质，达标排放。
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